实验室高精密旋涂仪M6

M6 Spin Coater可旋涂处理小碎片至6英寸圆晶圆片，使用无刷直流双向旋转马达控制，转速稳定，控制器可拆卸配合手套箱使用，4.3寸全彩触屏人机界面操作，简单易用。M6 Spin Coater外形美观，结构紧凑，专为实验室，研发和小规模生产部门提供性价比高的匀胶涂覆设备。M6 Spin Coater在材料、化学或生物等实验室被广泛用于薄膜制备，纳米薄膜研究等相关领域。

 

产品特点：
• 马达控制 无刷直流双向旋转；
• 智能程控 控制器可拆卸，4.3寸全彩触屏，配有智能触碰笔，按键有提示音，选中功能有颜色区分，适用于手套箱；
• 腔体材质 易清洁的NPP**聚丙烯材质，抗腐蚀性；
• 模式切换 可自由切换单步模式、多步模式和曲线分析图；
• 水平调节 设备垫脚可调节水平；
• 防止堵胶 双真空腔设计；
• 预留端口 可升级扩展其他多种选配项；
• 密码功能 设有开机密码和管理员密码，管理员有权限修改核心参数；
• 安全报警 系统盖板嵌锁、真空异常、通气异常、系统进胶、马达转速异常均会报警，通过声音和界面对话框提示；
• 气流保护 旋涂过程中对马达进行气流保护（也可选择取消），易维护，易清洁，大幅提高马达使用寿命；

 

应用领域：
• 半导体芯片制造
• 钙钛矿太阳能电池
• 微流控芯片
• MEMS微纳器件
• 高分子材料
• **光伏
• **发光二极管
• **场效应晶体管&薄膜晶体管
• 石墨烯&二维材料

 

处理腔体：
• 处理腔体内径不小于8.7英寸 (220毫米)；
• Wafer芯片尺寸较小标配为10 mm，可选配到3mm或5mm；较大到6英寸（150mm）直径圆片或5x5英寸（125mm）边长方片直径的材料，简单可靠的载物盘更换设计；